台积电要用!信越传盖新厂,在台湾生产EUV光阻剂

因应5G、数据中心用半导体需求攀升,日本信越化学工业(Shin-Etsu Chemical)传出将在台湾盖新厂,将半导体材料“光阻剂”产能提高5成,且因来自台积电的订单增加,信越化学也将开始利用台湾工厂生产“极紫外光(EUV)”用光阻剂。

日经新闻15日报道,为了因应5G、数据中心用半导体需求攀升,信越化学计划在台湾及日本盖新厂,将半导体材料“光阻剂”产能提高2成。信越化学计划在台湾云林县工厂及日本直江津工厂内兴建光阻剂新厂房,预估将分别于2021年2月、2022年2月左右激活生产,借此将台湾产能提高5成、日本提高2成,预估总投资额约300亿日元。

报道指出,信越化学也将开始利用台湾工厂生产使用于先进半导体生产技术“极紫外光(EUV)”的光阻剂。信越化学目前仅利用日本工厂生产EUV用光阻剂,不过因来自台积电等客户的订单增加,因此将扩大供应网络,追加于台湾工厂生产EUV用光阻剂。

据日本市调机构富士经济指出,2024年全球光阻剂市场规模预估约2,500亿日元,将较2019年增加6成。在全球光阻剂市场上,日系厂商掌控约8成市场占有率,其中信越化学市场占有率达2-3成。

富士胶片(Fujifilm)、住友化学(Sumitomo Chemical)日前也传出将进军EUV用光阻剂市场。