全球半导体微影技术厂商艾司摩尔(ASML) 于20日举行“EUV (极紫外光) 全球技术培训中心”开幕典礼。该培训中心座达到台南科学园区，占地1,625平方米，配备实机模块(live module)，提供技术理论课程和无尘室实机操作课程等多样化培训内容，总投资金额达到1,350万欧元(约新台币4.74亿元)。该中心目前配置14位讲师，估计每年可提供数千小时的课程，为ASML和其客户培育360位EUV技术工程师。而培训中心设立之后，ASML在台湾的研发团队人数也预计在3年内由原本的280人，提升至500人。
ASML全球副总裁暨台湾区总经理陈文光表示，感谢南科管理局、相关政府单位与客户及伙伴的支持与协助。ASML EUV全球技术培训中心的落成将可为半导体产业提供更完整的服务，使得ASML与全球半导体产业及客户共同增长。
ASML指出，自2010年提供第一台EUV微影设备原型机给台积电进行研发工作开始，就为全球微影技术开创新纪元。2017年，ASML再交付第一台量产型EUV微影系统TWINSCAN NXE:3400给台积电，写下商用EUV制程技术的新里程。至今，台湾的EUV装机规模领先全球。因此，ASML在台南成立EUV全球技术培训中心不仅让使得公司在台湾的运营和服务项目更多样化，更实现了全力支持客户先进制程开发与量产的承诺。
ASML进一步指出，将一个新手工程师培孵化为技术熟稔、可独自作业的EUV工程师需历经18个月的训练。过去，全球的EUV工程师，即使只负责部分专业技术，都必须前往ASML荷兰总部接受长达数月的培训。随着新冠肺炎疫情为全球差旅工作增添许多限制与不确定性，因此位于台南的EUV全球技术培训中心为台湾ASML与客户提供了一个相对安全且经济的培训方式。而ASML也在韩国设有EUV技术培训中心，为新进工程师提供EUV基础训练课程，以满足与日俱增的客户需求。
ASML是台湾半导体产业与客户的重要策略伙伴。自1988年交付第一台微影系统给台湾客户后，ASML于2003年正式在新竹成立台湾总部办公室，就近提供客户技术支持服务，尔后逐步扩大在台运营。至今，ASML在林口、新竹、台中、台南设有客户支持办公室，并于林口和台南设立工厂。其中，林口厂负责机台翻修、光罩传输 (Reticle Handler) 模块生产与YieldStar光学测量设备生产，台南厂则专注于电子束 (ebeam) 和多光束 (multi-beam) 检测设备制造。目前，ASML在台湾的员工约2,800人，并持续伴随台湾半导体产业共同增长。
而目前使用ASML的EUV设备最多数量的芯片代工龙头台积电，其芯片厂运营副总经理王英郎则表示，台积电与ASML在进行EUV设备的合作已经长达10年之久，互相是最紧密的合作伙伴。而因为当前最先进制程所打造的芯片必须在一个人类指甲大小的芯片上，最多放入100亿个晶体管，这就意味着每个晶体管的大小仅有手中细菌的千分之一大小。而要在在如此小的面积内植入为数众多，且体积精细的晶体管，就必需要依赖EUV设备。因此，近来在芯片中植入的晶体管数能有短短数年间从1亿个发展到100亿个，这都要非常感谢ASML开发出这样的设备，让摩尔定律得以继续延续。
王英郎进一步指出，因为EUV是当前先进制程的重要关键，所以在台积电斥巨资购买数倍的情况下，人员的操作让EUV能发挥最大的功效就极其重要。因此，过去台积电每年要派遣相关人员到荷兰ASML总公司进行训练。而因为一次训练流程就必须耗费4到7周的时间，不仅要花费大量差旅费用，而且因能训练能量有限，使得能参与的名额也有限。如今，ASML在两年前了解了台积电的需求，进一步来台设立EUV技术培训中心之后，不仅可以加大培训能量，还使得台积电与ASML能有更紧密的合作，使台积电未来在先进制程上的发展能有更多的帮助。至于，未来台积电在美国设5纳米厂之际，双方的合作会否比照办理，这方面王英郎则不表示任何意见。
(首图来源:科技新报摄)