NREL推全新三五族太阳能制程,砷化镓制造速度加快20倍

超过50年历史的制造技术再进化后,科学家们得出超越过去、超级亮眼的成果。最近美国国家再生能源实验室(NREL)改良过去半导体材料磊晶制程,除了将砷化镓制造速度提高20倍,也研制出转换效率达25%的太阳能板,更有机会将三五族(III -V)太阳能成本降至每瓦0.2到0.8美元。

三五族化合物半导体是由元素周期表中三族的铝、镓、铟及五族的氮、磷、砷等元素所构成,由于优异的光电特性,常用于LED、通信与太阳能,像是磷化铟镓、砷化镓等便是太阳能领域的佼佼者,最高转换效率已突破43.5%,然而三五族太阳能成本高、制程难,我们只能在卫星、无人机等利基市场增至到它们的身影。

其中有机金属气相磊晶(MOVPE)是常见的太阳能电池制程,通过有机金属气体在基板上增长半导体薄膜。而MOVPE关键设备为反应室,首先芯片会在里面被加热到1,000°C 以上,之后透重载体气流将金属有机物输送进反应室,金属有机物遇到高温产生反应后沉积,形成晶体,过程快速且允许大量制作。

只不过参数不易控制,难以精准调整有机金属气体分子喷出来的量,因此磊晶过程相当耗时,生长速度大约每小时15微米。对此NREL决定换一种方法试试,他们改良50年历史的氢化物气相磊晶法(HVPE),该技术是用金属催化的方式增长晶型,磊晶速度较快,NREL科学家开发出设有两个反应室的HVPE机台,用两个反应室进行不同的化学沉积,并称之为动态氢化物气相磊晶法(D-HVPE)。

与MOVPE制程相比,D-HVPE能以每小时320微米的速度生长砷化镓半导体层,以及每小时206微米速度生长的磷化铟镓,速度最快提高20倍,除此之外,也可以省下许多化学反应所需的昂贵前体材料。

目前团队已经通过D-HVPE技术制造出转换效率达25%的太阳能电池,预计能再将效率提高至27%,并放眼超越MOVPE的29%。NREL科学家Kevin Schulte表示,为了完成目标,团队还要持续改良。

NREL战略能源分析中心Kelsey Horowitz表示,随着进一步优化技术和商业化量产,三五族太阳能电池的制造成本有望降至每瓦0.2到0.8美元。

该团队希望能研发出制造速度大为提高,太阳能效率也相同,甚至超越过去的技术,过去MOVPE技术在1970年时取代HVPE,未来说不定某天,新一代的D -HVPE能超越MOVPE制程。目前研究已发布在《Nature Communications》。

(首图来源:NREL)