半导体设备大厂艾司摩尔在台砸重金投资，并针对2纳米芯片光学测量设备研发制造，向台湾经济部申请A+ 企业研发补助案。经济部表示，将以两面向审查，包括如何协助供应链技术升级以及本土自制率，最快5月拍板定案。
艾司摩尔（ASML）去年宣布在台湾扩大投资，新北市长侯友宜透露，预计落脚林口，第一期投资金额达新台币300亿元，约2,000名员工进驻。
不仅在台湾扩大投资，艾司摩尔去年也向经济部递件申请，针对2纳米芯片光学测量设备提出研发补助计划，经济部已受理审查，依规定一旦审查通过，政府补助比例会低于5成。
经济部官员表示，审查重点为如何提升本土技术、自制率；目前台厂供应链已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模块制造能力，这次艾司摩尔计划案包含芯片传输模块，期盼借此导入本土供应链。
经济部官员指出，事实上，先前艾司摩尔的光罩传输模块搬来台湾制造，让台湾成为艾司摩尔DUV光罩传输模块全球唯一制造基地，带动台厂帆宣、公准和神咏等供应链厂商增长，借由外商在台扩大投资、研发等，持续提升本土供应链技术升级。
艾司摩尔申请案将进入实质审查的第二阶段，经济部官员表示，预估5月召开决审会议拍板通过，届时经济部补助额将明朗化。
经济部“A+企业创新研发淬炼计划”补助企业投入创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约新台币20亿元，计划吸引国际大厂来台研发生产，同时帮助台湾企业打进前段设备的供应链。
（首图来源：ASML）