朝8英寸芯片迈进,ST携手Soitec开发SiC基板制造技术

意法半导体(ST)今日创新半导体材料设计制造公司Soitec联手宣布宣布下一阶段的碳化硅(SiC)基板合作计划,ST准备于18个月内完成Soitec碳化硅基板技术产前认证测试。此次合作目标为ST采用Soitec的SmartSiC技术制造未来8英寸碳化硅基板,促进碳化硅组件与模块制造之业务,这项技术有望在中期实现并量产,以支持汽车电动化并提高工业系统性能。

ST表示,SmartSiC为Soitec独家技术,此技术能从高品质的碳化硅供体芯片上切出一个薄层,并将其黏合到待处理之低电阻多晶硅芯片片表面,而加工后的基板便能提高芯片的性能及制造良率;优质的碳化硅供体芯片也可多次重复使用,大幅降低供体加工的总能源消耗。而从6英寸升级至8英寸芯片,能够大幅增加产能,制造集成电路的可用面积几乎是增加一倍,每个芯片上的有效出片量为升级前的1.8至1.9倍。

意法半导体汽车和离散组件部总裁Marco Monti指出,汽车和工业客户正在加速推动系统及产品电动化,升级至8英寸SiC芯片将为其带来巨大益处,产品产量提升对于推动规模经济非常重要。为此,ST选择利用垂直集成的制造模式,而与Soitec技术合作目标旨在持续提升制造良率和品质。

(首图来源:ST)