默克携手美光开发低GWP替代性蚀刻气体,提供永续解决方案

默克宣布携手美光科技联手开发用于半导体制程,能降低全球暖化潜势 (global warming potential,GWP)的气体解决方案。经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,进而取代传统的高GWP材料。目标是“在半导体制程中导入全新且更具持久性的气体解决方案”。

默克集团执行董事暨电子科技业务体首席执行官Kai Beckmann表示,永续发展依赖整个产业的同心协助,而不是单一企业的孤军奋战,也无法限缩於单一公司的范畴之内,需要整个半导体产业链的携手合作,一同发展更新颖的解决方案,以实现更大规模的永续目标。与默克一样,美光科技也设置了远大的永续发展目标,默克很荣幸能够为实现这个目标贡献我们的能力。

美光科技运营中心团队和采购企业副总裁John Whitman说,“我们的新目标是相较于2020年,在2030年将减少42%的全球运营所造成的碳排放。为此,美光采取了多项措施以实现净零碳排的运营承诺,包括投资先进的减排系统、优先使用全球暖化潜势较低的气体、外购节能设备、以及可再生能源取代石化能源等。我们也很高兴在默克的帮助之下,以创新合作达到永续目标。”

长久以来,默克与美光科技创建了互相信赖的业务伙伴关系,而本次降低全球暖化潜势气体的合作更为双方的永续合作迈出了第一步。两家公司皆致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料,以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

2022年5月,默克的气候目标通过第三方单位科学基础减量目标倡议SBTi(Science Based Targets Initiative)之审核,确认其有助于将全球平均升温控制在摄氏1.5度内,同时也符合《巴黎气候协议》的要求。默克承诺在2030年前将公司直接排放与用电产生排放的总温室气体排放量降低50%,而这些温室气体排放大多来自于电子科技产业所需的特殊化学品相关制程,通过制程改善,默克在未来将可大幅降低温室气体之排放量。此外,默克也承诺在价值链排放做到每欧元的碳排放减少52%。以上承诺皆以2020为基准年,相关进展皆记录于默克2021年的永续发展报告中。

(首图来源:默克提供)