俄乌引供应不稳,大阳日酸倍增半导体稀有气体产能

因俄乌情势引发供应不稳,日本工业气体巨头大阳日酸将增产半导体制造所需的稀有气体“氪(krypton)”和“氙(xenon)”,将产能倍增。

日经新闻11日报道,日本酸素Holdings(Nippon Sanso Holdings)旗下大阳日酸宣布,将增产使用于半导体制程的稀有气体(又称惰性气体)“氪”和“氙”。日本所需的稀有气体高达7-8成依赖进口,不过因乌克兰情势等因素影响,导致供应不稳。

大阳日酸将在和JFE Steel共同出资的JFE Sanso Center福山工厂内导入制造设备,其中氪年产能为260万公升(L)、氙为21万L,并预定2024年4月激活生产,导入量产后,大阳日酸氪、氙产能将扩张至现行的约2倍。大阳日酸目前仅利用日本大分工厂生产氪、氙,年产能分别为200万L、25万L。

氪使用于半导体蚀刻工程的光源、氙用于半导体制造时的激光光源。日本所需的氪大半依赖进口,其中大部分为中国产、部分为乌克兰产。

(首图来源:shutterstock)