荷兰半导体设备业龙头艾司摩尔（ASML Holding NV）德国柏林厂1月3日突传火警，引起全球关注，根据该公司更新的消息，初步评估柏林厂受到的影响有限，但极紫外光（EUV）微影设备的部分零件生产区域仍在恢复其中。
ASML 7日发布新闻稿指出，过去几日进行的初步评估显示，柏林制造基地一生产线建筑有部分遭祝融，冒出的浓烟也部分影响了隔壁栋。这些受影响的建筑已顺利恢复一些生产作业，柏林厂区的其他建筑则未受影响，一直都能正常运行。
ASML仍在持续评估受损情况，目前的查看结果如下：
ASML预定2022年1月19日公布第四季和2021年财报，以及2022年的初步预期，届时也会针对这起意外公布更多细节。
ASML柏林厂主要制造微影系统需要的零部件，其中包括芯片固定工作台、芯片夹具、光罩吸盘、反射镜等。ASML在2020年并购德商Berliner Glas。
根据外媒报道，分析人士直指，若ASML的EUV设备出货量因为这场火灾缩减10%，则可能让全球微影设备供应量暂时减少8.4%，因为ASML拥有84%的市场占有率。
台积电ADR 7日终场下挫3.87%、收123.50美元。ASML ADR 7日则下跌0.92%、收756.10美元。