SK海力士M16工厂发生化学品外泄,3名工人送医但不影响生产

根据韩国媒体《Ddaily》的报道,韩存大厂SK海力士(SK-Hynix) 旗下位于京畿道利川市的M16芯片厂发生在6日了化学品外泄事件,过程中导致3名工人受伤。不过,3名受伤工人在送医后并无大碍,而且芯片厂产线的生产也没有受到影响。

根据报道,发生化学品外泄事件的是SK海力士位于韩国京畿道利川市的M16工厂。而化学品外泄事件发生在这一工厂的5楼,泄露的是氢氟酸 (Hydrogen Fluoride,HF)。据了解,氢氟酸是半导体生产过程中重要的材料,其无色的水溶剂却有极强的腐蚀性,氢氟酸因可溶解硅石,因此广泛被用于半导体芯片制作的浸蚀与清洗工作上。

而本次发生氢氟酸外泄事件的M16工厂,是SK海力士刚刚建成的一座新工厂。根据SK海力士官网的信息显示,M16工厂在2018年的11月动工,总投资金额达3.5万亿韩元,历时2年建成,在2021年2月1日举行了完工典礼。而在M16工厂完成兴建之后,将主要用于生产DRAM产品。另外,作为SK海力士针对未来市场需求的重要工厂,M16工厂还引进了极紫外光曝光机 (EUV) 进入产线其中,这是SK海力士首次引进这一类设备。

报道进一步强调,目前M16工厂正在进行最后一批生产设备的装机与测试工作,以准备在2021年下半年的正式量产。也因为这样的情况,可能因此造成了本次的化学品外泄事件。而3名受伤的工人,一名遭化学品灼伤手臂及腿部,另两名则是有吸入性的灼伤清况。在被送医急救之后,目前已无大碍。而真正的化学品泄露原因,SK海力士与韩国相关单位也正在调查其中。

(首图来源:Flickr/Kimber JakesCC BY 2.0)

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