根据《路透社》的报道，韩存大厂SK海力士于24日表示，已与全球曝光设备生产大厂ASML签订一项为期5年，价值4.8万亿韩元（约43.4亿美元）的采购合约。而市场人士指出，SK海力士与ASML签订此合约的主要目的，是确保内存制造过程中能采购到足够的EUV极紫外线曝光设备。
报道指出，SK海力士在一份文件中表示，与ASML所签订的该笔交易是为了完成量产下一代制程芯片所需技术。而SK海力士最终的目标是打造内存制造工厂全自动化运营，也就是达到L5级别，使生生产机制造的每一分钟都实现自动化和智能化。而2021年2月1日，SK海力士位于韩国首尔南部利川市的M16新厂已经正式完工，SK海力士将首次使用EUV曝光机来生产内存。
SK海力士的M16工厂斥资35万亿韩元，是目前SK海力士旗下最大的工厂。而该工厂已经安装完成首条EUV生产线，预计将自2021年下半年开始正式量产第4代10纳米级（1α）DRAM内存。而除了SK海力士之外，三星则是在导入新时代制程之后随即导入EUV设备使用，为全球3大DRAM供应商中最早导入EUV曝光设备者。而之前三星发布的LPDDR5 16Gb DRAM就是采用EUV技术生产，带宽为6400MHz，相较LPDDR5 12Gb DRAM速度快16%。
根据先前的供应链消息指出，2021年ASML的EUV设备出货量从40台起，芯片代工龙头台积电包下至少15台、增至20台，稳居其中最大客户位置。而因为ASML的EUV产能有限，无法购买到足够的机台，日前也传出时任三星电子副会长的李在镕（Lee Jae-yong）于2020年10月出访欧洲，拜会ASML首席执行官Peter Wennink等人，以企图争取购买足够EUV曝光机，甚至提前取得产品的消息，可见市场对于EUV曝光机的购买需求告急。
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