三星电子副会长李在镕（Lee Jae-yong）今年10月出访欧洲、拜会艾司摩尔（ASML）首席执行官Peter Wennink等人后，传出Wennink也礼尚往来，于上周访问三星，希望能促成极紫外光（EUV）微影设备的合作项目。
Business Korea 1日报道，Wennink等ASML高层上周访问了三星半导体厂，讨论EUV微影设备的供给予发展合作项目。业界内部人士相信，三星要求ASML供应更多EUV微影设备，双方并讨论开发次代EUV设备的合作事宜。
身为全球唯一一家EUV设备制造商的ASML，目前对台积电的供货量高于三星。三星希望跟ASML组成科技联盟，取得更多次世代EUV微影设备。ASML也有跟三星投资合作的必要，因为次代EUV设备需要大量研发资金。
三星希望投资高数值孔径（high-numerical aperture，High-Na）EUV设备的开发案，这种设备可改善半导体微制程所需的电路分辨率，一台设备要价5,000亿韩元，是目前款式的2-3倍。ASML计划2023年年中推出设备原型，三星希望赶在台积电之前取得设备，争取技术领先。
不过，三星一名内部人士透露，双方并未在会议上完成投资决定。ASML高层只是应李在镕10月份的邀请前来三星访问。ASML高层也拜访SK海力士（SK Hynix）总裁李锡熙（Lee Seok-hee），消息显示他们讨论了要如何扩大供应EUV设备、促进合作。